三離子切割儀可以靈活選擇多種樣品臺，不僅適用于高通量實驗，也適合于特定制樣需求實驗室。對地質樣品中的油頁巖、煤層、礦石、土壤和沉積物等多種類型，對這些樣品進行制樣處理的主要操作就是獲得一個無損傷的平整面。機械切割和機械磨拋很難避免處理過程中造成樣品的微觀組織破壞和磨料污染現(xiàn)象。特別是在掃描電鏡高放大倍數(shù)的形貌觀察下，地質樣品的微觀結構破壞非常明顯。三離子切割儀采用離子束轟擊樣品表層區(qū)域進行切割，是一種無機械應力破壞和無磨料污染的表面處理方式。經(jīng)過離子束制備的樣品，適合于掃描電鏡進行高放大倍數(shù)的形貌觀察。